上海新阳取得在线电镀碳处理系统和碳处理方法专利，可连续在线循环净化药水

2024年1月6日消息，据国家知识产权局公告，上海新阳半导体材料股份有限公司取得一项名为“一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法“，授权公告号CN109234786B，申请日期为2017年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法。该碳处理系统包括依次连接的电镀槽、碳处理系统和循环过滤系统，碳处理系统包括碳处理箱和顶部的自动加碳装置，碳处理箱顶部还设有LED光照系统，内部设有催化网；循环过滤系统包括由碳处理箱与碳粉过滤机连接形成的将碳粉回收循环至碳处理箱的第一循环回路，以及由碳粉过滤机与电镀槽连接形成的将电镀药水回收循环至所述电镀槽的第二循环回路；碳处理系统还包括自动排碳渣系统，其包括由碳处理箱和自动排碳渣装置连接形成的将滤液循环至碳处理箱形成的第三循环回路，自动排碳渣装置上还设有一碳渣排出口。本发明提供的碳处理系统处理效果好，操作方便快捷，可连续在线循环净化药水。