晶盛机电取得线切机切割液循环系统专利，实现硅棒切割完成后硅片的分离，降低硅片的损耗

2024年1月18日消息，据国家知识产权局公告，浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“线切机切割液循环系统“，授权公告号CN220348762U，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种线切机切割液循环系统，该线切机切割液循环系统包括：切割组件、储液组件、喷淋组件和管路组件；切割组件包括用于切割硅棒的线网，线网切割硅棒后形成若干硅片；储液组件用于存储切割液；喷淋组件用于喷洒切割液至硅棒和线网；管路组件的两端分别与储液组件和喷淋组件连接，管路组件用于将切割液输送至喷淋组件；喷淋组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构，第一喷淋机构的喷射方向基本朝向线网，第一喷淋机构用于将切割液喷射至线网上；第二喷淋机构至少部分设置于线网的上方，第二喷淋机构的喷射方向基本朝向硅片。通过上述设置，以实现硅棒切割完成后硅片的分离，避免提取所述硅棒时线网误切到硅片，从而降低硅片的损耗。