苏州泰科贝尔申请一种精密气浮机构和气浮滑台专利，可在垂向负载发生变化时实现自动定心

2024年9月30日消息，国家知识产权局信息显示，苏州泰科贝尔直驱电机有限公司申请一项名为“一种精密气浮机构和气浮滑台”的专利，公开号 CN 118705270 A ，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示：本发明公开了一种精密气浮机构和气浮滑台，气浮机构包括安装平台、气路系统和驱动控制系统，安装平台上设有运动平台，安装平台上设有 Y 轴方向的气浮导轨；气浮单元包括与气浮导轨配合的气浮滑块，气浮导轨靠近气浮滑块的一侧具有导向结构一，气浮滑块上设有与导向结构一的形状相互匹配的导向结构二，导向结构一和导向结构二之间能形成气膜间隙层导向结构 垂直于 Y 轴方向的横截面为 A A 的宽度沿着 Z 轴方向逐渐增加或减小。本发明可在垂向负载发生变化时实现自动定心，确保导向精度，能够弱化运动平台因电机发热产生热变形对运动精度造成不良影响，可弱化因垂向负载变化对气膜间隙的影响；可以施加可调节的预载力，使气膜间隙保持在理想状态。