纳狮新材料申请用于控制钨丝刻蚀的装置专利，提高钨丝刻蚀的工艺水平

2024年11月5日消息，国家知识产权局信息显示，纳狮新材料有限公司杭州分公司、纳狮新材料有限公司、东莞瀚晶纳米材料有限公司申请一项名为“一种用于控制钨丝刻蚀的装置”的专利，公开号 CN 118895508 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明涉及钨丝刻蚀技术领域，公开了一种用于控制钨丝刻蚀的装置，包括：钨丝电流控制模块、炉体模块以及炉体供电模块；钨丝电流控制模块，用于根据炉体供电模块的实际电流，调节流经钨丝的电流；炉体中的工作气体在偏压的作用下进行钨丝刻蚀；炉体供电模块与炉体模块连接，用于为炉体提供电压，形成用于钨丝刻蚀所需的偏压。通过该装置，实现根据炉体供电模块的实际电流，调节流经钨丝的电流，在炉体和钨丝间形成稳定的偏压，从而提高钨丝刻蚀的工艺水平。