宏芯气体申请种气体供应系统专利，降低供气成本、减少工期

2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，宏芯气体（上海）有限公司申请一项名为“种气体供应系统”的专利，公开号 CN 119042530 A，申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示，本申请公开了一种气体供应系统，涉及半导体生产设备的技术领域，包括纯化器和生产用气设备，纯化器用于对输入供应系统的空气进行提纯，生产用气设备用于利用纯净空气进行生产，纯化器与生产用气设备之间通过总输送管道连通；总输送管道的中间段设置有并列的常用管道和备用管道，备用管道上依次设置有储存罐和汽化器，储存罐的输出端与汽化器的输入端相连通，储存罐用于存储液化空气，汽化器用于将储存罐输入的液化空气汽化为气态空气；在正常工况下，由常用管道输送压缩空气至生产用气设备；在紧急工况下，由储存罐内存储的液化空气进行供气。本申请具有降低供气成本、减少工期的效果。