南京镭芯光电取得一种新型半导体设备尾气管道气流稳定装置专利,起到优化尾排系统气流稳定性的作用

2025-01-04 18:10:59
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2025年1月4日消息,国家知识产权局信息显示,南京镭芯光电有限公司取得一项名为“一种新型半导体设备尾气管道气流稳定装置”的专利,授权公告号 CN 222250963 U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种新型半导体设备尾气管道气流稳定装置,包括处理机构和控制机构,所述处理机构包括主吸附桶和辅吸附桶,所述主吸附桶一侧的底部固定安装有进入主管,且进入主管的顶部固定安装有进入压力表,所述主吸附桶的顶部固定安装有排出主管。该新型半导体设备尾气管道气流稳定装置,通过增加轴流风机起到补偿和调节厂务系统风机的不稳定性,轴流风机运行频率的大小可以根据进入压力表与排出压力表反馈到 PLC 控制器的数据进行智能控制,可以适时调整尾气管道中的气体压力及流速,可以起到优化整个尾排系统气流的稳定性,能够达到气流稳定流动,已到达 MOCVD 尾气流速及压力恒定且持续的工作要求。

天眼查资料显示,南京镭芯光电有限公司,成立于2019年,位于南京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本805.6085万人民币。通过天眼查大数据分析,南京镭芯光电有限公司参与招投标项目1次,知识产权方面有商标信息11条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可7个。

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