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雅科贝思取得晶圆退火加工机构工装专利,避免触发机械手导致晶圆破碎
2025-03-10 12:11:25
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2025年3月10日消息,国家知识产权局信息显示,雅科贝思精密机电(上海)有限公司取得一项名为“一种晶圆退火加工机构的工装”的专利,授权公告号 CN 222562648 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,实用新型涉及一种晶圆退火加工机构的工装,包括:底座,水平设置;两个侧板,对称设置在所述底座的两侧;升降组件,包括水平设置的驱动部件、与所述驱动部件连接的水平滑块;下楔形块,连接在所述升降组件的水平滑块上;上楔形块,滑动连接在所述下楔形块的上方,所述上楔形块上下滑动连接在所述侧板的内壁;吸附圆盘,连接在所述上楔形块的顶部;多个PIN杆组件包括PIN杆、用于调整所述PIN杆高度的高度可调工件以及用于调节所述PIN杆在水平面上的角度以及所述PIN杆距所述吸附圆盘中心的距离的水平角度可调工件;所述PIN杆顶端的外侧设有挡块。本实用新型结构紧凑,承载力大,避免触发机械手导致晶圆破碎。
天眼查资料显示,雅科贝思精密机电(上海)有限公司,成立于2009年,位于上海市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本14998.001万人民币,实缴资本625万人民币。通过天眼查大数据分析,雅科贝思精密机电(上海)有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息126条,专利信息105条,此外企业还拥有行政许可101个。