睿励科学仪器申请自动聚焦方法等专利，提高晶圆量测精准度

2025年4月25日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“自动聚焦方法、量测方法及量测模块”的专利，公开号CN119812026A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种自动聚焦方法、量测方法及量测模块，自动聚焦方法包括：获取标定晶圆表面的任一点在m个工作区域下的高度值，并计算得到不同工作区域中任两个工作区域之间相对于标定晶圆表面的高度差值；m为大于等于2的整数；通过自动聚焦系统获取第一工作区域中待测晶圆表面的选定点的第一高度值，并基于第一工作区域与第二工作区域之间的高度差值，计算得到待测晶圆移动至第二工作区域时选定点对应的第二高度值；基于第二高度值在第二工作区域对待测晶圆表面的选定点的自动聚焦。本发明在不增加自动聚焦系统的前提下，保证每套光学量测模块都能快速精准地定位到焦点的位置，提高晶圆在多套光学量测模块下进行量测时的精准度。

天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息248条，此外企业还拥有行政许可20个。