睿励科学仪器申请薄膜厚度的量测方法及其量测系统专利，可精确测量半导体器件薄膜厚度

2025 年 4 月 30 日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“薄膜厚度的量测方法及其量测系统”的专利，公开号 CN119890065A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明提供了一种薄膜厚度的量测方法及其量测系统。量测方法包括：获取待测半导体器件表面多个膜层的预估厚度，为达到预设厚度上限的厚膜层构建候选厚度集；根据厚膜层及预估厚度介于厚度上限与预设厚度下限之间的标准膜层的预估厚度构建第一结构模型；向半导体器件提供检测光线，收集其反射光线的实际光谱信息；根据实际光谱信息和各候选厚度对应的第一理论光谱信息分别计算第一结构模型关于各候选厚度的局部最优解，并根据其中最优者确定厚膜层的测量厚度；将多个膜层中预估厚度小于厚度下限的预估厚度纳入最优的第一结构模型以构建第二结构模型；根据实际光谱信息和第二结构模型对应的第二理论光谱信息，计算多个膜层的测量厚度的整体最优解。

天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息248条，此外企业还拥有行政许可20个。