睿励科学仪器申请晶圆定位专利，有效确定晶圆的真实坐标

2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“晶圆定位方法、系统、化学机械研磨设备及存储介质”的专利，公开号 CN119910568A，申请日期为 2025年1月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆定位方法及系统，以及一种化学机械研磨设备。所述晶圆定位方法包括以下步骤：经由一线性传感器，采集晶圆边缘的多个位置到所述运动台旋转中心的距离数据；解析所述距离数据，以提取边缘区域数据和缺口区域数据；根据所述边缘区域数据，确定所述晶圆的形心相对于所述运动台旋转中心的偏移量；解析所述缺口区域数据，以确定所述晶圆的缺口朝向与所述运动台预设的平移方向的第一偏转角度；根据所述偏移量、所述第一偏转角度，以及所述线性传感器与所述运动台预设的平移方向的第二偏转角度，确定对应的定位补偿量，并用其补偿量测点位在所述运动台坐标系下的量测坐标，以确定所述量测点位在所述运动台坐标系下的真实坐标。

天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息250条，此外企业还拥有行政许可20个。