恒脉微电子申请基于阵列加工分割的压电微泵制备专利，有效提高生产效率

2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，恒脉微电子（杭州）有限公司申请一项名为“一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵”的专利，公开号CN119995394A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于阵列加工分割的压电微泵制备方法及制得的压电微泵；该方法如下：对片状材料进行加工，形成相同的多个器件单元；多片片状材料分别形成压电微泵泵体的不同器件层对应的单层阵列结构。对位并键合形成包含多个泵体的整版阵列泵体结构。划片分离出独立的泵体。本发明通过化学刻蚀、光刻以及激光加工可以得到具备阵列器件单元的单层阵列结构；通过对不同器件的单层阵列结构进行键合后划片即可同步得到多个独立的压电微泵，这样的制备过程可以对压电微泵成板制备，有效提高了压电微泵的生产效率，并使得压电微泵具有更高的稳定性和一致性。

天眼查资料显示，恒脉微电子（杭州）有限公司，成立于2023年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，恒脉微电子（杭州）有限公司财产线索方面有商标信息9条，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可1个。