河南百合特种光学研究院申请提高光照均匀度调节镜组及方法专利，解决曝光光斑能量分布不均匀问题

2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，河南百合特种光学研究院有限公司申请一项名为“一种提高光照均匀度的调节镜组及方法”的专利，公开号CN120010200A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开了一种提高光照均匀度的调节镜组及方法，包括一种提高光照均匀度的调节镜组，该镜组包括第一透镜、第二透镜、镜筒、光纤固定座和三维调节机构，第一透镜和第二透镜均为平凸透镜，第一透镜和第二透镜分别设置在透镜镜座内，透镜镜座设置在镜筒内，且两透镜的凸面相对设置，镜筒的上端设置有光纤安装镜筒，光纤固定座安装在光纤安装镜筒内，三维调节机构设置在光纤安装镜筒和光纤固定座之间，三维调节机构包括旋紧螺母、固定螺母和球头六角调节器；该镜组的调节方法简单，且成本低，以解决现有激光直接成像光刻系统中，由于光纤激光器出光不稳定及调节精度不足，导致曝光光斑能量分布不均匀、产品良率降低等问题。

天眼查资料显示，河南百合特种光学研究院有限公司，成立于2016年，位于新乡市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1301.0052万人民币。通过天眼查大数据分析，河南百合特种光学研究院有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可7个。