湖畔光芯半导体申请ALD设备使用的悬浮载台专利 有效降低因接触导致的颗粒生成和膜层损伤等问题

2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，湖畔光芯半导体（江苏）有限公司申请一项名为“一种ALD设备使用的悬浮载台”的专利，公开号 CN120119229A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明涉及ALD设备技术领域，且公开了一种ALD设备使用的悬浮载台，包括腔室；传片入口，所述传片入口开设在腔室的外壁上，用于实现承载硅片wafer从外部传递至腔室内部；电极载台一，所述电极载台一固定连接在腔室的内壁上，用于产生和控制与wafer相对的电场力。该ALD设备使用的悬浮载台，通过电场力与重力的平衡，将wafer悬浮在空中，在wafer悬浮的状态下，ALD设备内部进行化学蒸发沉积过程，气体可以在wafer上下空间自由流动，确保沉积均匀且不受阻碍。通过这一过程，ALD设备的悬浮载台实现了无接触的wafer承载，并有效降低了因接触导致的颗粒生成和膜层损伤等问题，提升了产品良率并延长了设备的使用周期。

天眼查资料显示，湖畔光芯半导体（江苏）有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7599.3371万人民币。通过天眼查大数据分析，湖畔光芯半导体（江苏）有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可13个。