苏州芯睿科技申请一种限位柱同心度调试系统及调试方法专利，提高晶圆键合的精度

2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，苏州芯睿科技有限公司申请一项名为“一种限位柱同心度调试系统及调试方法”的专利，公开号CN120237077A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明涉及调试系统技术领域，尤其涉及一种限位柱同心度调试系统及调试方法。该限位柱同心度调试方法包括以下步骤：沿热盘周向设置至少两个限位柱，使至少两个限位柱的第一限位面围设形成限位空间，限位空间被配置为放置晶圆；放置限位工装于热盘上，其中限位工装的第二限位面与热盘同心设置，调整第一限位面的位置，以使第一限位面与第二限位面同心设置。有利于提高限位精度，以保证晶圆放置在限位空间时与热盘的同心度要求，提高晶圆键合的精度。该调试系统有利于保证晶圆放置在限位空间时与热盘的同心度要求，提高晶圆键合的精度。

天眼查资料显示，苏州芯睿科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1397.9412万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州芯睿科技有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可11个。