拓邦鸿基申请半导体用石英过滤器组件制造工艺方法专利，提高产品质量

2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法”的专利，公开号CN120328842A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体用石英过滤器组件制造的工艺方法，包括以下步骤：通过振动筛分选石英砂作为石英过滤器的基材；通过纯水设备制备出纯水；然后将石英砂与纯水按比例进行混合；将制浆后的石英砂放入模具中进行成型；将定型后的石英砂放置在模具中采用氢氧焰煅烧；焊接组成石英过滤器总成；将石英过滤器总成的石英管段进行加热折弯至要求角度；清洗包装处理，本发明涉及半导体制备技术领域，通过研制一种高纯度石英过滤器组件，利用该过滤器的孔隙可对通入的气体进行缓释防止湍流的产生，达到提高产品质量的目的，采用半导体级高纯石英砂制备，二氧化硅纯度达到99.999％，不会对产品造成污染，采用高纯度的等离子水与石英砂制浆，避免了杂质污染。

天眼查资料显示，辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司，成立于2017年，位于抚顺市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本8613.4416万人民币。通过天眼查大数据分析，辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可6个。