长沙韶光芯材取得用于异形纳米图形加工结构专利，良品率更高

2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，长沙韶光芯材科技有限公司取得一项名为“一种用于异形纳米图形的加工结构”的专利，授权公告号CN223140729U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于异形纳米图形的加工结构，包括：加工件和标准掩膜版，加工件的形状与所需的掩膜形状一致，在纳米图形加工时，将集中在加工件内进行加工，标准掩膜版为标准尺寸的掩膜版，例如6025尺寸，标准掩膜版具有加工面，加工面设有仿形槽，仿形槽与加工件相仿形，仿形槽用于放置加工件，并对加工件进行固定，加工件被配置为：加工件的顶面与加工面沿仿形槽的槽深方向的公差为X，‑0.1μm≤X≤0.1μm。

天眼查资料显示，长沙韶光芯材科技有限公司，成立于2003年，位于长沙市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本6264.3756万人民币。通过天眼查大数据分析，长沙韶光芯材科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可14个。