睿励科学仪器申请半导体器件椭偏测量相关专利，提高测量系统测量性能

2025年7月26日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“半导体器件的椭偏测量方法及系统、光学模型的优化方法”的专利，公开号CN120368844A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明提供了半导体器件的椭偏测量方法、系统及存储介质。所述半导体器件的椭偏测量方法包括以下步骤：获取测量机台的第一光学模型；根据多个预设的检测波段，对所述第一光谱在多个波长位置的光滑性参数进行积分，以确定所述第一光谱在各所述检测波段的噪声，并据此确定各所述检测波段的权重系数；根据各所述检测波段的权重系数，修正所述第一光学模型，以获得适应所述待测半导体器件的材料的第二光学模型；以及经由所述测量机台检测所述待测半导体器件，以获取第二光谱，并将所述第二光谱代入所述第二光学模型，以确定所述待测半导体器件表面的特性参数。

天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息254条，此外企业还拥有行政许可20个。