南京镭芯光电取得滚筒式光罩清洗装置专利，能快速去除附着在光罩本体表面的水滴

2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，南京镭芯光电有限公司取得一项名为“一种滚筒式光罩清洗装置”的专利，授权公告号CN223159690U，申请日期为2024年04月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种滚筒式光罩清洗装置，包括清洗槽、透明亚克力盖体以及光罩固定架，光罩固定架的顶部滑动设置有光罩固定盖，清洗槽的内壁位于光罩固定架下方中部位置固定安装有支撑架，清洗槽的底部安装有用于气体进行导流的第一导流管，第一导流管的外壁呈等间距安装有多个用于对气体进行喷出的第一喷头，清洗槽的底部远离第一导流管位置安装有用于对清洗液进行导流的第二导流管。由于光罩固定架会随着光罩本体一起清洗和吹干，因此二者能够一直保持清洁状态，且在清洗或吹干的过程不会像原本直接使用手拿光罩本体清洗一样出现二次污染的现象，并且气体能够从不同方向对光罩本体进行喷吹，能够快速去除附着在光罩本体表面的水滴。

天眼查资料显示，南京镭芯光电有限公司，成立于2019年，位于南京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本863.4719万人民币。通过天眼查大数据分析，南京镭芯光电有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可8个。