锐立平芯微电子申请故障检测方法等专利，准确实时检测定期预防性维护无法侦测到的机械手臂故障

2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司申请一项名为“故障检测方法、相关装置和存储介质”的专利，公开号CN120385749A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本公开提供一种故障检测方法、相关装置和存储介质。该故障检测方法包括：采集机械手臂在传输当前晶圆过程中发出的第一声波信号，实时将第一声波信号与标准声波信号进行比较，根据比较结果确定第一声波信号是否存在异常，在确定第一声波信号存在异常的情况下，获取与当前晶圆属于同一批次的晶圆对应的第二声波信号，发出检测提示，通知根据第二声波信号对机械手臂进行人工检测以确定机械手臂是否存在故障。

天眼查资料显示，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司，成立于2022年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238888.888889万人民币。通过天眼查大数据分析，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息437条，此外企业还拥有行政许可11个。