晶亦精微取得前推式夹持机械手专利，解决执行机构运行污染降低晶圆良品率问题

国家知识产权局信息显示，北京晶亦精微科技股份有限公司取得一项名为“前推式夹持机械手”的专利，授权公告号CN 223273240 U，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体夹具工装技术领域，公开了一种前推式夹持机械手，以解决执行机构运行过程中产生的粉尘污染和有机物污染降低晶圆良品率的问题。该前推式夹持机械手包括安装基座、动力连杆、滑动件以及动力波纹管。安装基座沿第一直线方向设有传动通孔，动力连杆部分插设于传动通孔内。沿第一直线方向，滑动件位于传动通孔的一侧，且动力连杆靠近滑动件的一端与滑动件固定连接。沿第一直线方向，在安装基座与滑动件之间，动力连杆插设于动力波纹管内，且动力波纹管的两端与安装基座和滑动件密封连接。本申请提供的前推式夹持机械手用于夹持晶圆等预设物件。

天眼查资料显示，北京晶亦精微科技股份有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16646.135万人民币。通过天眼查大数据分析，北京晶亦精微科技股份有限公司参与招投标项目51次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息392条，此外企业还拥有行政许可8个。

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