东微电子申请UV光源的复合式机械减振支撑装置专利，创造动态约束力场

国家知识产权局信息显示，河南东微电子材料有限公司申请一项名为“UV光源的复合式机械减振支撑装置”的专利，公开号CN 120559964 A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本发明提供一种UV光源的复合式机械减振支撑装置，属于光刻设备技术领域，包括基座、UV光源和减振模块，减振模块包括连接件和支撑缓冲件，UV光源通过连接件连接至支撑缓冲件，支撑缓冲件环绕UV光源轴线对称分布，支撑缓冲件还连接至基座；基座上安装有外限位器UV光源连接有内限位器，内限位器位于外限位器内部，且内限位器不与基座连接。本方案通过多层级的减振结构设计，使UV光源产生的部分高频冲击能够通过支撑缓冲件滞后传输至外限位器，使得内限位器与外限位器因运动相位差产生反向作用力，进而自我抵消，并通过橡胶环吸收残余动能，创造了动态约束力场，无需传感器或控制器即实现主动阻尼效果。

天眼查资料显示，河南东微电子材料有限公司，成立于2018年，位于郑州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本15200.18426万人民币。通过天眼查大数据分析，河南东微电子材料有限公司共对外投资了18家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可8个。

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