浙江芯晖取得能提高晶圆研磨质量及合格率的定位装置专利，提高晶圆研磨的质量及合格率

国家知识产权局信息显示，浙江芯晖装备技术有限公司取得一项名为“一种定位装置”的专利，授权公告号CN223284961U，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种定位装置，包括架体、放置组件、多组定位组件以及检测组件，架体设有安装板；放置组件，包括可转动地穿设于安装板的第一转轴、以及连接于第一转轴顶部用于放置晶圆的装载台；多组定位组件，沿装载台周向设置，定位组件包括可转动地穿设于安装板的第二转轴、以及设置于第二转轴顶部的定位柱，第二转轴和定位柱的轴线平行，通过转动第二转轴带动定位柱靠近和远离装载台，以使晶圆中心定位于装载台的轴线上；检测组件安装于安装板，检测组件设有传感器，以检测晶圆的平边和/或切口，使得晶圆在装载台上实现准确定位，如此设置，能够提供一种装置对晶圆进行定位后再搬运至加工载台，以提高晶圆研磨的质量及合格率。

天眼查资料显示，浙江芯晖装备技术有限公司，成立于2018年，位于嘉兴市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本5470.89万美元。通过天眼查大数据分析，浙江芯晖装备技术有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息67条，此外企业还拥有行政许可4个。

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