光谷信息光电子创新中心申请光纤探针定位装置及定位方法专利，提高光纤探针高度探测和补偿的效率

国家知识产权局信息显示，武汉光谷信息光电子创新中心有限公司申请一项名为“一种光纤探针的定位装置及定位方法”的专利，公开号CN120594903A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明公开了一种光纤探针的定位装置及定位方法，涉及晶圆测试的技术领域，所述定位装置包括卡盘位移台、棱镜组件、光纤探针位移台和显微镜位移台，卡盘位移台上用于设置晶圆卡盘，棱镜组件设有棱镜卡盘和棱镜，光纤探针位移台用于设置光纤探针，显微镜位移台设有显微镜。将棱镜卡盘设于显微镜视场中心，测量棱镜底部的高度；再使用显微镜和棱镜，调节光纤探针至初始高度；将晶圆卡盘定位到显微镜视场中心，测量晶圆卡盘上晶圆表面任一待测区域的高度；最后根据高度差补偿光纤探针的初始高度，以将光纤探针定位到对应待测区域最佳耦合高度，定位装置操作简单有效，无需使用电容探高器进行高度探测和补偿，提高了光纤探针高度探测和补偿的效率。

天眼查资料显示，武汉光谷信息光电子创新中心有限公司，成立于2017年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本16000万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉光谷信息光电子创新中心有限公司参与招投标项目112次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息327条，此外企业还拥有行政许可5个。

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