江苏天芯微申请用于晶圆制造的气体管路系统及控制方法专利，通过切换阀门复用同一流量计分别准确测量晶圆中心和边缘的气体流量

国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司申请一项名为“一种用于晶圆制造的气体管路系统及控制方法”的专利，公开号CN120684658A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，一种用于晶圆制造的气体管路系统，包括：输气管路、控制管路、排气管路和传热气体管路；控制管路与输气管路相连，用于控制传热气体流向排气管路或传热气体管路；控制管路包括连接的第一支路和第二支路；第一支路的第一端通过流量计和针阀连接输气管路，第二端通过第一阀门连接排气管路；第二支路的第三端通过所述流量计连接输气管路，第四端通过第二阀门连接传热气体管路；通过开启第一阀门并关闭第二阀门，使用流量计以测定针阀一路的气体流量；通过开启第二阀门并关闭第一阀门，使用同一流量计以测定传热气体管路的气体流量。本发明还提供了一种气体管路控制方法，通过切换阀门复用同一流量计，分别准确测量晶圆中心和边缘的气体流量。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息145条，此外企业还拥有行政许可18个。

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