中科九微等申请磁悬浮分子泵用控温系统相关专利，高效精准控温磁悬浮分子泵主要发热源温度

国家知识产权局信息显示，北京中科九微科技有限公司、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请一项名为“磁悬浮分子泵用的控温系统及磁悬浮分子泵”的专利，公开号CN120720281A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本申请公开了一种磁悬浮分子泵用的控温系统及磁悬浮分子泵，该磁悬浮分子泵包括具有电机容置部的泵体，控温系统包括第一冷却通道，第一冷却通道包括设在泵体的外周壁上并间隔开的第一进口和第一出口，以及连接第一进口和第一出口并包括布置在电机容置部内的蜿蜒部的第一通道本体。磁悬浮分子泵可以高效、精准地控温磁悬浮分子泵的主要发热源的温度，易于稳定磁悬浮分子泵的抽气性能并优化半导体制造工艺环境。

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