思锐智能申请内外腔室压力稳定控制方法等专利，提高压力控制精度

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种内外腔室压力稳定控制方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN 120742988 A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明提供一种内外腔室压力稳定控制方法、装置、设备及存储介质，方法包括：获取内外腔压力值，并在内外腔压力差超过预设范围的情况下，基于预设压力差以及外腔压力值确定外腔的目标压力值，并基于预设的公式，以该目标压力值为调整结果计算外腔气体的目标调整流量值，按照该目标调整流量值控制外腔气体注入实现了外腔气体流量的动态控制，在内外腔温度发生变化的情况下，能够及时感知内外腔压力变化，并基于该压力变化调整外腔气体流量以维持内外腔压力差稳定，从而提高压力控制精度，保证晶圆制备质量。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目72次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可25个。

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