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上海图双申请用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法专利,提供用于NOTCH类型晶圆的寻边设备
市场资讯 2025-10-29 14:51:40
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国家知识产权局信息显示,上海图双精密装备有限公司申请一项名为“用于NOTCH类型晶圆的寻边设备和方法”的专利,公开号CN120854361A,申请日期为2025年09月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于NOTCH类型晶圆的寻边设备,包括:底座以及固定于底座上方的顶板;设置于顶板上的第一和第二推挡组件、寻边传感器以及两个限位滚轮,第一和第二推挡组件分别包括第一和第二挡轮;以及设置于底座上的真空吸盘,其能够吸附晶圆并带动晶圆进行旋转运动和垂向运动;两个限位滚轮与晶圆同心且位于第一挡轮的两侧,当晶圆被吸附于真空吸盘上时第一和第二挡轮分别位于晶圆圆周外的相对两侧,第一挡轮对准晶圆的NOTCH口的目标定位方向,第二挡轮位于与目标定位方向相反的一侧,寻边传感器在晶圆旋转过程中寻找NOTCH口并使其正对第一挡轮的方向,第一和第二推挡组件被配置成分别控制第一和第二挡轮的移动以将晶圆推动至同时接触两个限位滚轮。
天眼查资料显示,上海图双精密装备有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本2281.86万人民币。通过天眼查大数据分析,上海图双精密装备有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目28次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息113条,此外企业还拥有行政许可9个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。