上海稷以科技申请半导体清洁装置及方法专利,可实现对半导体工件进行批量清洁并保证后续半导体工件不受污染

市场资讯 2025-11-06 09:41:58
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国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“半导体清洁装置及方法”的专利,公开号CN120885472A,申请日期为2025年07月。

专利摘要显示,本发明提出了一种半导体清洁装置及方法,该装置包括:传送带,用于传输半导体工件,其设置于传送架;冲洗机构,其输出清洁液体,用于对传送带上的半导体工件进行冲洗工序,其设置于传送架,沿Z向其输出端位于传送带的上方;及清洁机构,用于清洁冲洗工序后残留在传送带上的灰尘杂质,其与传送架滑动连接且可沿Z向升降,沿Z向所述清洁机构位于传送带的下方。

天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目87次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息140条,此外企业还拥有行政许可14个。

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