江苏鲁汶仪器取得用于半导体刻蚀设备的喷嘴安装装置专利，能使喷嘴安装过程中安装件和介质窗之间不易产生摩擦

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备”的专利，授权公告号 CN223539558U，申请日期为 2024 年 11 月。

专利摘要显示，本申请公开一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备。该喷嘴安装装置用于将喷嘴安装于介质窗，所述介质窗设于腔室的顶盖，所述喷嘴安装装置包括安装件；所述介质窗具有第一配合部和沿轴向贯通的第一安装孔，所述喷嘴具有第一抵靠部和第二配合部，所述安装件具有第二抵靠部；所述安装件和所述顶盖连接，所述第二抵靠部和所述第二配合部抵接，且所述第一配合部和所述第一抵靠部抵接，以将所述喷嘴至少部分限位于所述第一安装孔。该喷嘴安装装置在应用时，能够使喷嘴安装过程中安装件和介质窗之间不易产生摩擦，从而不易产生颗粒，并使得安装件的安装不易损坏介质窗。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目247次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息457条，此外企业还拥有行政许可14个。

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