思锐智能申请原子层沉积设备及方法专利，减少功耗和资源浪费

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“原子层沉积设备及方法”的专利，公开号CN120924943A，申请日期为2025年08月。

专利摘要显示，本发明公开一种原子层沉积设备及方法，设备包括预装载腔室、晶圆传输室室、腔室室、晶圆支架、传输机构、检测机构和控制器，预装载室室、晶圆传输腔室和工艺腔室依次连通连通，晶圆支架设有晶圆放置区，传输机构用于将承载有晶圆的晶圆支架在预装载腔室、晶圆传输腔室和腔室室之间传输，检测设置设置在晶圆传输腔室内，用于检测晶圆传输过程中晶圆支架上晶圆的数量以及晶圆是否偏移晶圆放置区，控制器分别与传输机构和检测机构电连接，控制器用于根据晶圆的数量计算并控制工艺腔室加热功率和工艺气体通入量，控制器还用于在检测机构检测到晶圆偏移晶圆放置区时控制传输停止传输。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本112945.0775万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目73次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息155条，此外企业还拥有行政许可25个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。