天芯微取得用于刻蚀设备加热组件专利，便于支撑块支撑加热组件，防止被过力挤压

国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司取得一项名为“一种用于刻蚀设备的加热组件”的专利，授权公告号CN223539555U，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种用于刻蚀设备的加热组件，包括：圆形主体；圆形主体包括：上绝缘层；所述加热层设置于上绝缘层下方；屏蔽层设置于所述加热层下方；下柔性导热绝缘层设置于屏蔽层下方；圆形主体上设置多个沿圆形主体的周向排布的多个扇形贯穿孔；所述屏蔽层的直径大于加热层，以在所述圆形主体的周向边缘形成露出部。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息153条，此外企业还拥有行政许可18个。

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