中科九微等申请真空泵零部件复合涂层制备等相关专利，提高零部件的耐高温和耐腐蚀性

国家知识产权局信息显示，北京中科九微科技有限公司;广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请一项名为“真空泵零部件复合涂层制备方法、复合涂层结构和真空泵”的专利，公开号CN120924973A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本申请公开了一种真空泵零部件复合涂层制备方法、复合涂层结构和真空泵。该真空泵零部件复合涂层制备方法，制备方法的步骤包括：步骤一，对零部件进行预处理，其包括依次进行的超声波清洗、化学除油、酸洗活化、水洗以及干燥处理；步骤二，将NiCoCrAlY合金粉末通过激光熔覆工艺在零部件上制备成NiCoCrAlY层；步骤三，对NiCoCrAlY层进行加工处理至预设要求；步骤四，对零部件进行镀前处理，其包括依次进行的超声波清洗、超纯水清洗以及干燥处理；步骤五，将零部件放入预制化学镀液中，通过化学反应在零部件表面形成NiP层；步骤六，对零部件进行镀后处理，以获得具有NiCoCrAlY/NiP复合镀层的零部件。

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