奕斯伟和欣芯申请晶圆检测装置及方法专利 提高对晶圆notch检测效率

国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“晶圆的检测装置及晶圆的检测方法”的专利，公开号CN120933184A，申请日期为2025年08月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆的检测装置及晶圆的检测方法，所述装置包括：检测台、多个驱动传感器、控制器和notch定位感应器；所述多个驱动传感器设置在所述检测台上，所述多个驱动传感器用于承载晶圆且生成所述晶圆的多个检测区域所对应的多个重力检测数据；所述控制器用于接收所述多个重力检测数据，并对所述多个重力检测数据进行计算，在所述晶圆的所述多个检测区域中确定所述晶圆的notch所在的检测区域，以及生成控制信号控制所述多个驱动传感器带动所述晶圆进行旋转，以将所述晶圆的notch与所述notch定位感应器对齐；所述notch定位感应器用于对所述晶圆的notch进行检测。

天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1454条，此外企业还拥有行政许可24个。

西安欣芯材料科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析，西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目156次，专利信息141条，此外企业还拥有行政许可23个。

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