稷以科技取得半导体氮化氧化设备灯源加热系统专利，可明显提高氮化氧化薄膜的均匀性

国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司取得一项名为“一种半导体氮化氧化设备灯源加热系统”的专利，授权公告号CN 223548087 U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体氮化氧化设备灯源加热系统，包括工艺腔体，所述工艺腔体顶部设有灯源，所述灯源包括均匀分布于工艺腔体顶部的多个可独立控制灯珠。本实用新型与现有技术相比的优点是：通过在石英腔体顶部加装可独立控制的灯源，打开不同区域不同数量的灯珠，对晶圆提供能量补偿，在等离子浓度偏低区域的灯珠打开，在等离子浓度偏高区域的灯珠关闭，可明显提高氮化氧化薄膜的均匀性。

天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目87次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息140条，此外企业还拥有行政许可14个。

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