江苏亚电科技取得一种晶圆清洗用干燥流体喷管专利，使干燥流体的喷出更加稳定

国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗用干燥流体喷管”的专利，授权公告号 CN 223550846 U，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆清洗用干燥流体喷管，属于晶圆生产设备技术领域。晶圆清洗用干燥流体喷管由内管和外管组成，干燥流体先进入内管，从内管上的第二喷口喷出，由于第二喷口与第一喷口的朝向相反，在内管和外管之间的空间内进行整流，再从外管上的第一喷口上喷出，使得干燥流体的喷出更加稳定。支撑环的设置使得整体管道长度较长时，能够保证内管和外管之间的空间的横截面不变。

天眼查资料显示，江苏亚电科技股份有限公司，成立于2019年，位于泰州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本8397.0931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏亚电科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息216条，此外企业还拥有行政许可27个。

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