亚电科技取得一种晶圆升降装置专利，防止赃物通过支撑的齿污染清洗后的晶圆，提高晶圆的清洁度

国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆升降装置”的专利，授权公告号CN 223552517 U，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆升降装置，属于晶圆清洗设备技术领域。本申请的晶圆升降装置，固定齿用于承接未清洗的晶圆，当机械手抓取晶圆放置到固定齿上前，对应高度的升降齿先下降到低于对应高度的固定齿，由固定齿先支撑晶圆，而后竖直移动座驱动晶圆进入清洗设备内进行喷气清洗，清洗完毕后，升降齿上升，顶起晶圆，使晶圆脱离与固定齿的接触，脱落接触后也可以再进行一次喷吹，也就是升降齿用于承接已经清洗完的晶圆，而后竖直移动座下降，通过水平位移机构将清洗完的晶圆移动到下一个工位。

天眼查资料显示，江苏亚电科技股份有限公司，成立于2019年，位于泰州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本8397.0931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏亚电科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息216条，此外企业还拥有行政许可27个。

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