奕斯伟材料等取得湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统专利，可将尺寸大于预设值的杂质从槽体移除

国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安欣芯材料科技有限公司取得一项名为“一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统”的专利，授权公告号CN223566588U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了一种湿法刻蚀用容器及湿法刻蚀系统，该湿法刻蚀用容器可以包括：槽体，用于承载刻蚀液以在槽体内对晶圆进行刻蚀；过滤组件设置于所述槽体底部，用于收集尺寸大于预设值的杂质，以在所述过滤组件取出所述槽体时，将所述尺寸大于预设值的杂质从所述槽体移除。

天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1456条，此外企业还拥有行政许可24个。

西安欣芯材料科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析，西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目157次，专利信息142条，此外企业还拥有行政许可23个。

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