恒运昌真空技术申请石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备专利，有效提高清洗效率

国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备”的专利，公开号CN 120984635 A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本申请提出了石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备，涉及等离子体清洗技术领域，该石墨舟的清洗方法能够应用于石墨舟干法清洗，其中，密闭腔室内壁设置有第一电极，以及相对第一电极设置的第二电极，第一电极和第二电极连接至同一功率源的两极；控制功率源通过第一电极和第二电极产生的电场激发密闭腔室中通入的气体物质产生等离子体，等离子体对放置于第一电极和第二电极之间的石墨舟进行清洗；功率源为交流信号。本申请通过交流电源驱动双电极交替激发等离子体，利用周期性变换的电场引导离子往复运动，覆盖石墨舟表面复杂结构，同时避免电极极化损耗，能够有效提高清洗效率、减少电极损耗、避免局部过热及实现等离子体均匀分布。

天眼查资料显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，成立于2013年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5077.1129万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目14次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息305条，此外企业还拥有行政许可17个。

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