东方晶源申请晶圆图像校正方法及程序产品专利，可针对晶圆图像进行高效实时的振动干扰校正

国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种晶圆图像校正方法以及程序产品”的专利，公开号CN 120997095 A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆图像校正方法以及程序产品，包括：对目标晶圆上目标图形区域进行多次图像采集，得到采集图像集合。针对每相邻两次图像采集对应的采集图像，确定初始采集位置偏差序列。确定每个初始采集位置偏差的优化采集位置偏差。根据多个优化采集位置偏差，确定振动信号对应的振动信号数据。根据振动信号数据，对目标晶圆的真实采集图像进行振动干扰校正。本申请实施例提供的技术方案可以针对晶圆图像进行高效实时的振动干扰校正，极大程度上提升目标晶圆对应采集图像的准确性。本申请提供的技术方案无需外设传感器设备，更加轻便，大幅节约成本的同时，还能提升检测精准度，以及充分满足解决振动信号干扰问题的实时性需求。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息162条，专利信息364条，此外企业还拥有行政许可18个。

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