果纳半导体申请一种设备前端模块专利，节约净化用的气体

国家知识产权局信息显示，上海果纳半导体技术有限公司申请一项名为“一种设备前端模块”的专利，公开号CN 120998833 A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本发明公开了一种设备前端模块，包括框架和晶圆装载装置，框架内设置有机械手和缓存装置，缓存装置包括承载架，承载架包括前方开设的进出口，进出口的左右两侧设置有能向承载架喷出气体的进气组件，进气组件包括座板，座板上开设有进气通道，气体通道包括进气通道、出气通道、导通部和第一开口，导通部导通进气通道和出气通道，第一开口与出气通道导通且位于进出口前方。调节管在出气通道内转动，调节管包括沿周向依次设置的封闭区域、调节区域、导流区域和第二开口，调节区域上开设有调节孔。在缓存装置集中设置进气组件对承载架供气，以此来对承载架内的晶圆进行净化，同时进气组件的结构，可以调节喷出气体的流量，节约了净化用的气体。

天眼查资料显示，上海果纳半导体技术有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3498.248万人民币。通过天眼查大数据分析，上海果纳半导体技术有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目26次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息118条，此外企业还拥有行政许可6个。

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