君原电子申请一种静电卡盘专利，可以有效改善高纯氧化铝静电陶瓷盘的吸附电极与介电层之间粘接性不好的问题

国家知识产权局信息显示，君原电子科技（海宁）有限公司申请一项名为“一种静电卡盘”的专利，公开号CN121035037A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括：陶瓷基板，包括用于吸附晶圆的主吸附面；吸附电极，埋设于所述陶瓷基板的内部，吸附电极包括金属导电材料以及用于生成液相促进烧结的其他材料，其他材料的添加量相对于金属导电材料的添加量在0.2wt％～1.5wt％之间；所述其他材料的平均晶粒尺寸小于所述陶瓷基板的平均晶粒尺寸。本申请中，通过将其他材料的平均晶粒尺寸设置为小于陶瓷基板的平均晶粒尺寸，让吸附电极的晶粒尺寸不同，一方面不会影响吸附电极的导电性，另一方面，可以明显增加吸附电极与介电陶瓷之间的粘接性，可以有效改善高纯氧化铝静电陶瓷盘的吸附电极与介电层之间粘接性不好的问题。

天眼查资料显示，君原电子科技（海宁）有限公司，成立于2020年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4154.927288万人民币。通过天眼查大数据分析，君原电子科技（海宁）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目119次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可4个。

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