君原电子申请氮化铝静电卡盘制备方法专利，有效解决氮化铝静电卡盘电极偏移问题

国家知识产权局信息显示，君原电子科技（海宁）有限公司申请一项名为“一种氮化铝静电卡盘的制备方法”的专利，公开号CN121021156A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种氮化铝静电卡盘的制备方法，属于静电卡盘技术领域，包括：设计加热电极：加热电极材料选用钼或钨铜合金；加热电极定位及分层压制：先在模具底部铺设25～35％厚度的氮化铝粉末，预压成型形成稳定基层；在上述稳定基层上放置吸附电极，再覆盖20％厚度的氮化铝粉末，同时放置与加热电极形状相同的不锈钢模具一同压制出相应的定位凹槽；放置加热电极，覆盖剩余厚度的氮化铝粉末进行压制，最后再高压压制；粉体梯度填充完成后进行等静压辅助，冷等静压前先对已压制的坯体进行抽真空封包后采用冷等静压；压制完成后进行分段烧结。上述方案实现电极的热匹配设计、模具定位精确、粉末流动可控，有效解决氮化铝静电卡盘电极偏移问题。

天眼查资料显示，君原电子科技（海宁）有限公司，成立于2020年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4154.927288万人民币。通过天眼查大数据分析，君原电子科技（海宁）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目119次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可4个。

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