合光光掩模科技取得保护膜剥离装置及半导体制造设备专利，提升保护膜剥离效率

国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司取得一项名为“保护膜剥离装置以及半导体制造设备”的专利，授权公告号CN223612403U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型提供一种保护膜剥离装置以及半导体制造设备，保护膜剥离装置包括：载台和盖板；载台和/或盖板上设置有控温模块，控温模块用于对掩模以及保护膜进行加热和/或冷却；盖板沿靠近或远离载台的方向可移动，并在控温模块加热掩模时，覆盖于保护膜的上方；盖板上设有剥离模块，剥离模块在盖板覆盖保护膜时，与保护膜相卡合；其中，盖板沿平行于保护膜的方向可伸缩，以匹配保护膜的尺寸。如此配置，通过设置控温模块，一方面能够通过加热软化粘胶，减少胶残留，同时通过冷却保护膜，在剥离过程中能够保持保护膜的刚性，避免因高温软化而引发的二次污染和掩模表面损伤；盖板能够匹配不同的保护膜尺寸，提升了保护膜的剥离效率。

天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本175318.88万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目149次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可18个。

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