合光光掩模科技取得光掩模承载组件以及量测机台专利，提升量测精度

国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司取得一项名为“光掩模承载组件以及量测机台”的专利，授权公告号CN223611836U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种光掩模承载组件以及量测机台，光掩模承载组件包括：载台；载台具有取放口，取放口由载台的侧壁围合形成，用于取放光掩模，取放口的尺寸大于光掩模的尺寸；侧壁的内边沿设置有朝向取放口伸出的承载件；侧壁上还设置有固定装置，固定装置沿靠近或远离光掩模的方向可移动；光掩模置于载台后，固定装置沿靠近光掩模的方向伸出，以与光掩模相抵靠。如此配置，通过增大取放口的尺寸，使得在取放光掩模的过程中，光掩模与取放口之间发生刮蹭的概率降低；同时，在载台的侧壁上设置可沿靠近或远离光掩模的方向移动的固定装置，提升了光掩模的固定效果，也使得光掩模在量测过程中不产生位移，提升了量测精度，保证了光掩模产品的良率。

天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本175318.88万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目149次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可18个。

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