江苏鲁汶仪器申请一种半导体处理装置专利，有效提升待处理工件的均一性

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种半导体处理装置”的专利，公开号CN121054514A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体处理装置，涉及半导体刻蚀领域，该半导体处理装置中处理腔室的四种进气口分别通过供气柜的四种供气通道供气，供气柜的气体通过中心供气通道和中心进气口流向待处理工件的中心区域、通过中间供气通道和中间进气口流向待处理工件的中间区域、通过边缘供气通道和边缘进气口流向待处理工件的边缘区域、以及通过调整气体供气通道和调整气体进气口流向待处理工件的边缘区域，使从不同方向进入处理腔室的气体分别分布在待处理工件的不同区域，以影响待处理工件不同区域的气体分布，有效提升了待处理工件的均一性，并且通过供气柜的四种供气通道分别向四种进气口供气，大大提升了处理腔室进气的控制能力，有更广泛的工艺适配性。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目253次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息458条，此外企业还拥有行政许可14个。

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