昕感科技取得LOADLOCK防反冲气路结构专利，提高产品良率

国家知识产权局信息显示，江苏昕感科技有限责任公司取得一项名为“一种LOADLOCK防反冲气路结构”的专利，授权公告号CN223612381U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型涉及刻蚀机技术领域，尤其是一种LOADLOCK防反冲气路结构，包括：与两个腔室相连接的管道，两个所述管道的端部之间共同连接有泵件；其中在所述管道的负压路径上依次连通有单向组件以及阀门，所述阀门靠近腔室的一侧；所述单向组件包括壳体以及内置于所述壳体中的阀门组件，在所述壳体的底部可拆卸连接有用于安装阀门组件的底盖,本实用新型中通过在管道增加单向组件的设计，工作时因为有单向组件的作用，气流不会反冲至高真空的LOADLOCK腔室中，同时也不会影响各自腔室的抽真空作业，如此保证LOADLOCK里面产品不受影响，从而改善了产品缺陷，提高产品良率。

天眼查资料显示，江苏昕感科技有限责任公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏昕感科技有限责任公司参与招投标项目7次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可49个。

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