江苏鲁汶仪器申请栅网清洗系统及离子源刻蚀设备专利，无需对栅网进行拆卸即可完成栅网的清洗

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种栅网清洗系统及离子源刻蚀设备”的专利，公开号CN121075892A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明提供了一种栅网清洗系统及离子源刻蚀设备，涉及半导体技术领域。在对第一栅网和第二栅网进行清洗时，通过等离子体生成装置为真空腔提供等离子体，并且通过电源装置为第一栅网和第二栅网分别施加相反的正电压和负电压，且施加在栅网上的电压按照第一设定频率进行正电压和负电压的切换，从而使得真空腔中等离子体的部分离子被引出并约束在第一栅网和第二栅网之间往复运动，离子与栅网上的沾污发生碰撞而使得沾污剥离栅网，达到对栅网进行清洗的目的。本发明提供的技术方案，无需对栅网进行拆卸即可完成栅网的清洗，避免了对离子源刻蚀设备的栅网进行拆卸和再安装所导致的一系列问题。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目253次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息460条，此外企业还拥有行政许可14个。

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