埃克斯申请基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置专利，有效避免清洗设备调度过程中出现过泡

国家知识产权局信息显示，埃克斯控股（北京）有限公司申请一项名为“一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置”的专利，公开号CN121075968A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制备技术领域，具体公开了一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置，具体地，基于所要规划的当前新任务对应的第一动作序列S1判断是否发生过泡，且出现过泡的工艺槽为危险槽，若出现过泡且出现过泡的工艺槽是危险槽，自发生过泡的当前动作开始，逆序遍历S1以寻找符合预设驻留条件的安全槽，且当找到符合预设驻留条件的安全槽时，基于过泡时间确定相应过泡任务在该安全槽的强制驻留时间，并基于强制驻留时间更新所述第一动作序列S1中所述安全槽对应动作及其后续各动作的优先级，然后基于更新后得到的第二动作序列S2判断是否发生过泡，若是基于相同的策略逆序查找安全槽，如此重复直至规则成功为止。

天眼查资料显示，埃克斯控股（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6225.3809万人民币。通过天眼查大数据分析，埃克斯控股（北京）有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息104条，此外企业还拥有行政许可17个。

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