国电投核力创芯申请用于氢离子注入机的光束限制器及束流调节方法专利，不对晶圆产生元素沾污污染

国家知识产权局信息显示，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司申请一项名为“一种用于氢离子注入机的光束限制器及束流调节方法”的专利，公开号CN121075887A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明申请涉及一种用于氢离子注入机的光束限制器及束流调节方法，属于氢离子注入机技术领域，用于氢离子注入机的光束限制器包括：支撑板，第一叶片，第二叶片，第三叶片，第四叶片；沿着第一方向，第一叶片和/或第二叶片相对于支撑板移动；和/或，沿着第二方向，第三叶片/或第四叶片相对于支撑板移动；第一叶片，第二叶片，第三叶片，第四叶片围合形成束流通道。本发明申请的光束限制器结构简单，可靠性高，拆装方便，人员安全性高，不对晶圆产生元素沾污污染。

天眼查资料显示，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司，成立于2021年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7022.63万人民币。通过天眼查大数据分析，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司参与招投标项目318次，专利信息58条，此外企业还拥有行政许可33个。

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