江苏鲁汶仪器取得一种开合机构及等离子刻蚀系统专利，保证真空腔室密封性

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种开合机构以及等离子刻蚀系统”的专利，授权公告号CN223638337U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种开合机构以及等离子刻蚀系统，该开合机构用于真空腔室，真空腔室包括腔盖及腔体，开合机构包括平移滑动支撑装置以及开合装置，两个平移滑动支撑装置对称地设置于腔体的两侧，多个开合装置对称地在腔体的两侧滑动设置于平移滑动支撑装置，开合装置的驱动端与腔盖连接，开合装置用于驱动腔盖沿开合方向相对于腔体往复移动，且开合装置能够在平移滑动支撑装置上沿平移方向相对于腔体往复移动，开合方向与平移方向相交。上述开合机构中的多个开合装置对称地设置于腔体及腔盖的两侧，能够保证腔盖在开合过程中两侧均匀受力，避免腔盖一侧翘起的问题，保证真空腔室密封性，平移移动方式占地空间小，可提高维护空间，方便维护。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目253次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息460条，此外企业还拥有行政许可14个。

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